貼片流水線的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型實(shí)施例提出了一種貼片流水線，包括貼片下料平臺、導(dǎo)電膜貼附平臺和柔性線路板貼附平臺，貼片下料平臺與導(dǎo)電膜貼附平臺之間設(shè)有抓取裝置，抓取裝置可在貼片下料平臺與導(dǎo)電膜貼附平臺之間移動，導(dǎo)電膜貼附平臺和柔性線路板貼附平臺之間設(shè)有傳動裝置，傳動裝置的傳動方向從導(dǎo)電膜貼附平臺到柔性線路板貼附平臺；貼片流水線還包括可編程邏輯控制器，可編程邏輯控制器控制抓取裝置和傳動裝置的運(yùn)行。本實(shí)用新型的貼片流水線的上下料和貼片處理工序均采用自動化裝置傳送，無需人工上下料，節(jié)約了人力成本，提高了貼片效率和產(chǎn)品的良率，是一種高度自動化的貼片流水線。
【專利說明】
貼片流水線
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及貼片領(lǐng)域，具體而言，涉及一種貼片流水線。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體行業(yè)中，貼片是一種非常重要，可以說是必不可少的集成手段，各式各樣的貼片流水線也應(yīng)運(yùn)而生。
[0003]在現(xiàn)有的很多貼片工藝過程中，存在很多子流程，但目前的實(shí)現(xiàn)中，各個子流程之間的銜接并不是很順暢。在玻璃基板下料完成后，需人工的將玻璃基板移送到導(dǎo)電膜貼附的機(jī)床上，導(dǎo)電膜貼附完成后又要移送到柔性線路板貼附的機(jī)床上。移送玻璃基板靠人工來實(shí)現(xiàn)，很大程度上浪費(fèi)了人力成本，且人工搬運(yùn)時還要對玻璃基板進(jìn)行對位，對位不準(zhǔn)確容易造成貼片錯位，造成產(chǎn)品的不良。
[0004]因此為解決現(xiàn)有貼片流水線需人工上下料、效率低的問題，有必要提供一種上下料和貼片處理工序均采用自動化裝置傳送，無需人工上下料，節(jié)約了人力成本，提高了貼片效率和產(chǎn)品良率的高度自動化的貼片流水線。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]針對現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實(shí)用新型提出了上下料和貼片處理工序均采用自動化裝置傳送，無需人工上下料，節(jié)約了人力成本，提高了貼片效率和產(chǎn)品良率的高度自動化的貼片流水線。
[0006]為解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案如下:
[0007]—種貼片流水線，包括貼片下料平臺、導(dǎo)電膜貼附平臺和柔性線路板貼附平臺，
[0008]所述貼片下料平臺與所述導(dǎo)電膜貼附平臺之間設(shè)有抓取裝置，所述抓取裝置可在所述貼片下料平臺與所述導(dǎo)電膜貼附平臺之間移動，所述導(dǎo)電膜貼附平臺和所述柔性線路板貼附平臺之間設(shè)有傳動裝置，所述傳動裝置的傳動方向從所述導(dǎo)電膜貼附平臺到所述柔性線路板貼附平臺；
[0009]所述貼片流水線還包括可編程邏輯控制器，所述可編程邏輯控制器控制所述抓取裝置和所述傳動裝置的運(yùn)行。
[0010]進(jìn)一步，所述抓取裝置為機(jī)械手。機(jī)械手能模仿人手和臂的某些動作功能，用以按固定程序抓取、搬運(yùn)物件或操作工具的自動操作裝置。
[0011]進(jìn)一步，所述貼片下料平臺上設(shè)有傳感器，所述傳感器感測到工件后將信號反饋給所述可編程邏輯控制器，所述可編程邏輯控制器控制所述抓取裝置夾帶著工件從所述貼片下料平臺移動到所述導(dǎo)電膜貼附平臺。
[0012]進(jìn)一步，所述傳感器為光電傳感器。光電傳感器是采用光電元件作為檢測元件的傳感器。它首先把被測量的變化轉(zhuǎn)換成光信號的變化，然后借助光電元件進(jìn)一步將光信號轉(zhuǎn)換成電信號。
[0013]進(jìn)一步和，所述傳感器為壓力傳感器。壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力，通過外力使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號。
[0014]進(jìn)一步，所述傳動裝置包括電機(jī)、皮帶和皮帶輪組成，所述電機(jī)連接所述皮帶輪，所述皮帶套在所述皮帶輪上。皮帶輪傳動能緩和載荷沖擊;皮帶輪傳動運(yùn)行平穩(wěn)、低噪音、低振動;皮帶輪傳動的結(jié)構(gòu)簡單，調(diào)整方便;皮帶輪傳動對于皮帶輪的制造和安裝精度不像嚙合傳動嚴(yán)格;皮帶輪傳動具有過載保護(hù)的功能;皮帶輪傳動的兩軸中心距調(diào)節(jié)范圍較大。
[0015]進(jìn)一步，所述可編程邏輯控制器控制所述電機(jī)的運(yùn)行。
[0016]進(jìn)一步，所述導(dǎo)電膜貼附平臺上設(shè)有傳感器和貼片裝置，所述傳感器感測到工件后將信號反饋給所述可編程邏輯控制器，所述可編程邏輯控制器控制所述貼片裝置工作。
[0017]進(jìn)一步，所述傳感器為光電傳感器。光電傳感器是采用光電元件作為檢測元件的傳感器。它首先把被測量的變化轉(zhuǎn)換成光信號的變化，然后借助光電元件進(jìn)一步將光信號轉(zhuǎn)換成電信號。
[0018]進(jìn)一步，所述傳感器為壓力傳感器。壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力，通過外力使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號。
[0019]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其顯著優(yōu)點(diǎn)是:本實(shí)用新型的貼片流水線在貼片下料平臺和導(dǎo)電膜貼附平臺之間加設(shè)抓取裝置，在導(dǎo)電膜貼附平臺和柔性線路板貼附平臺之間設(shè)有傳動裝置，抓取裝置和傳動裝置實(shí)現(xiàn)了在貼片流水線各道工序之間的自動化傳送。本實(shí)用新型的貼片流水線的上下料和貼片處理工序均采用自動化裝置傳送，無需人工上下料，節(jié)約了人力成本，提高了貼片效率和產(chǎn)品的良率，是一種高度自動化的貼片流水線。
【附圖說明】

[0020]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提出的一種貼片流水線的第一結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提出的一種貼片流水線的第二結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提出的一種貼片流水線的傳動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]主要元件符號說明:
[0024]100-貼片流水線；101-貼片下料平臺；102-導(dǎo)電膜貼附平臺；103-柔性線路板貼附平臺；104-可編程邏輯控制器；110-抓取裝置；111、121_傳感器；120-傳動裝置；120a-電機(jī)；120b-皮帶輪;120c-皮帶；130-貼片裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0025]為了便于理解本實(shí)用新型，下面將參照相關(guān)附圖對貼片流水線進(jìn)行更全面的描述。附圖中給出了貼片流水線的優(yōu)選實(shí)施例。但是，貼片流水線可以通過許多不同的形式來實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所描述的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例的目的是使對貼片流水線的公開內(nèi)容更加透徹全面。
[0026]需要說明的是，當(dāng)元件被稱為“固定于”另一個元件，它可以直接在另一個元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個元件被認(rèn)為是“連接”另一個元件，它可以是直接連接到另一個元件或者可能同時存在居中元件。相反，當(dāng)元件被稱作“直接在”另一元件“上”時，不存在中間元件。本文所使用的術(shù)語“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及類似的表述只是為了說明的目的。
[0027]除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本實(shí)用新型的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在貼片流水線的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在限制本實(shí)用新型。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個或多個相關(guān)的所列項(xiàng)目的任意的和所有的組合。
[0028]下面結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作詳細(xì)說明。
[0029]實(shí)施例1
[0030]請一并參閱圖1和圖2，貼片流水線100包括貼片下料平臺101、導(dǎo)電膜貼附平臺102和柔性線路板貼附平臺103，貼片下料平臺101與導(dǎo)電膜貼附平臺102之間設(shè)有抓取裝置110，抓取裝置110可在貼片下料平臺101與導(dǎo)電膜貼附平臺102之間移動。導(dǎo)電膜貼附平臺102和柔性線路板貼附平臺103之間設(shè)有傳動裝置120，傳動裝置120的傳動方向從導(dǎo)電膜貼附平臺102到柔性線路板貼附平臺103。貼片流水線100還包括可編程邏輯控制器104，可編程邏輯控制器104控制抓取裝置110和傳動裝置120的運(yùn)行。
[0031]上述，貼片流水線100可以應(yīng)用于執(zhí)行⑶G(也即Chip On Glass，芯片被直接綁定在玻璃上)的過程。具體的，玻璃基板下料之后，抓取裝置110將貼片下料平臺101上的玻璃基板移動到導(dǎo)電膜貼附平臺102上，然后進(jìn)行ACF(即Anisotropic Conductive Film，異方性導(dǎo)電膠膜)貼附作業(yè)。ACF貼附的過程中傳動裝置120不斷的將玻璃基板向柔性線路板貼附平臺103上傳送，傳送到柔性線路板貼附平臺103后進(jìn)行F0G(“FPC on Glass”，柔性線路板綁定在玻璃上)作業(yè)。抓取裝置110、傳動裝置120和貼附動作均由可編程邏輯控制器104控制。
[0032]具體的，可編程邏輯控制器104，即PLC(Programmable Logic Controller)也即，是一種采用一類可編程的存儲器，用于其內(nèi)部存儲程序，執(zhí)行邏輯運(yùn)算、順序控制、定時、計數(shù)與算術(shù)操作等面向用戶的指令，并通過數(shù)字或模擬式輸入/輸出控制各種類型的機(jī)械或生產(chǎn)過程。其實(shí)質(zhì)是一種專用于工業(yè)控制的計算機(jī)，其硬件結(jié)構(gòu)基本上與微型計算機(jī)相同，可以有效的對貼片流水線100控制。
[0033]上述，在整個貼片流水線100工作的過程中，無需人工搬運(yùn)工件，即玻璃基板在COG至IjACF工序之間通過抓取裝置110搬運(yùn)工件，傳動裝置120將ACF和FOG過程聯(lián)系起來。本實(shí)用新型中涉及到的貼片流水線100避免了現(xiàn)有技術(shù)中在進(jìn)行產(chǎn)品加工時需要的人工比較多，且由于多個過程需要人工執(zhí)行搬運(yùn)，導(dǎo)致自動化程度不高，產(chǎn)品生產(chǎn)的效率不夠，不良品率高的缺陷，降低了人工的使用，提高了自動化程度，不需要人工上下料，全過程通過抓取裝置110和傳動裝置120實(shí)現(xiàn)了從COG到ACF再到FOG的高度自動化，提高了產(chǎn)品生產(chǎn)的效率與良品率，同時節(jié)約了人工成本。
[0034]在一個具體的實(shí)施例中，抓取裝置110為機(jī)械手。
[0035]上述，機(jī)械手是工業(yè)機(jī)器人的一種，能模仿人手和臂的某些動作功能，用以按固定程序抓取、搬運(yùn)物件或操作工具的自動操作裝置。機(jī)械手是最早出現(xiàn)的工業(yè)機(jī)器人，也是最早出現(xiàn)的現(xiàn)代機(jī)器人，它可代替人的繁重勞動以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)的機(jī)械化和自動化，能在有害環(huán)境下操作以保護(hù)人身安全。機(jī)械手是在機(jī)械化，自動化生產(chǎn)過程中發(fā)展起來的一種新型裝置。在現(xiàn)代生產(chǎn)過程中，機(jī)械手被廣泛的運(yùn)用于自動生產(chǎn)線中。
[0036]可以理解，抓取裝置110除了機(jī)械手以外還可以為機(jī)器人、氣栗吸盤等裝置，凡是可以實(shí)現(xiàn)從貼片下料平臺到導(dǎo)電膜貼附平臺的搬運(yùn)工作的裝置均屬于本專利的保護(hù)范圍。
[0037]另外，可編程邏輯控制器104還控制著抓取裝置110的準(zhǔn)確對位，即抓取裝置110可傳送玻璃基板到準(zhǔn)確的貼片位置，使得玻璃基板的貼片位置更加準(zhǔn)確，貼片的良率高。
[0038]進(jìn)一步，貼片下料平臺101上設(shè)有傳感器111，傳感器111感測到工件后反饋給可編程邏輯控制器104輸出信號，可編程邏輯控制器104控制抓取裝置110夾帶著工件從貼片下料平臺101移動到導(dǎo)電膜貼附平臺102。
[0039]上述，傳感器111感測到玻璃基板后，反饋信號到可編程邏輯控制器104，可編程邏輯控制器104根據(jù)傳感器111的信號向抓取裝置110發(fā)出動作信號，使得抓取裝置110將玻璃基板從貼片下料平臺101移動到導(dǎo)電膜貼附平臺102。
[0040]進(jìn)一步，傳感器111為光電傳感器。
[0041]上述，光電傳感器是采用光電元件作為檢測元件的傳感器。光電傳感器是通過把光強(qiáng)度的變化轉(zhuǎn)換成電信號的變化來實(shí)現(xiàn)控制的。光電傳感器在一般情況下，由三部分構(gòu)成，它們分別為:發(fā)送器、接收器和檢測電路。發(fā)送器對準(zhǔn)目標(biāo)發(fā)射光束，發(fā)射的光束一般來源于半導(dǎo)體光源，發(fā)光二極管(LED)、激光二極管及紅外發(fā)射二極管。光束不間斷地發(fā)射，或者改變脈沖寬度。接收器由光電二極管、光電三極管、光電池組成。在接收器的前面，裝有光學(xué)元件如透鏡和光圈等。在其后面是檢測電路，它能濾出有效信號和應(yīng)用該信號。它首先把被測量的變化轉(zhuǎn)換成光信號的變化，然后借助光電元件進(jìn)一步將光信號轉(zhuǎn)換成電信號。光電式傳感器是以光電器件作為轉(zhuǎn)換元件的傳感器。它可用于檢測直接引起光量變化的非電量，如光強(qiáng)、光照度、輻射測溫、氣體成分分析等;也可用來檢測能轉(zhuǎn)換成光量變化的其他非電量，如零件直徑、表面粗糙度、應(yīng)變、位移、振動、速度、加速度，以及物體的形狀、工作狀態(tài)的識別等。光電式傳感器具有非接觸、響應(yīng)快、性能可靠等特點(diǎn)，因此在工業(yè)自動化裝置和機(jī)器人中獲得廣泛應(yīng)用。當(dāng)貼片下料平臺101上有玻璃基板后，傳感器111感測的光的強(qiáng)度發(fā)生變化，然后反饋信號到可編程邏輯控制器104。
[0042]可以理解，傳感器111的數(shù)量不固定，可根據(jù)需求在不同方位設(shè)置多個傳感器111。
[0043]在另一實(shí)施例中，傳感器111為壓力傳感器。
[0044]具體的，壓力傳感器是使用最為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，從而生成反饋信號。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體壓力傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力，通過外力(壓力)使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號。
[0045]在抓取裝置110將玻璃基板從貼片下料平臺101上搬運(yùn)到導(dǎo)電膜貼附平臺102上后，進(jìn)行導(dǎo)電膜貼附工序。
[0046]進(jìn)一步，所述導(dǎo)電膜貼附平臺102上設(shè)有傳感器121和貼片裝置130，傳感器121感測到工件后將信號反饋給所述可編程邏輯控制器104，可編程邏輯控制器104控制貼片裝置130工作。
[0047]上述，導(dǎo)電膜貼附平臺102上的傳感器121感測到玻璃基板后，傳感器121向可編程邏輯控制器104發(fā)出反饋信號，可編程邏輯控制器104在接收到反饋信號后向貼片裝置130發(fā)出信號，貼片裝置130開始工作進(jìn)行導(dǎo)電膜的貼附工作。
[0048]貼片裝置130為現(xiàn)有的貼片工作臺上的裝置，貼片裝置130的結(jié)構(gòu)在此不做贅述。
[0049]具體的，傳感器121為光電傳感器。
[0050]另一實(shí)施例中，傳感器121為壓力傳感器。
[0051]上述，導(dǎo)電膜貼附平臺102和柔性線路板貼附平臺103之間設(shè)有傳動裝置120。
[0052]具體的，如圖3所示，傳動裝置120包括電機(jī)120a、皮帶輪120b和皮帶120c，電機(jī)120a連接皮帶輪120b，皮帶120c套在皮帶輪120b上。
[0053]具體的，可編程邏輯控制器104控制電機(jī)120a的運(yùn)行。
[0054]上述，可編程邏輯控制器104控制電機(jī)120a的轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)向以及啟閉。電機(jī)120a帶動皮帶輪120b轉(zhuǎn)動，由于電機(jī)120a的轉(zhuǎn)速較高，通常為600?3000轉(zhuǎn)/分，可在電機(jī)120a和皮帶輪120b之間加設(shè)齒輪箱(圖中未示出)減速，使得皮帶輪120b的轉(zhuǎn)速，即皮帶的移動速度維持在一個相對較適合玻璃基板在貼片過程速度。皮帶120c套在皮帶輪120b上，從而使得皮帶輪120b帶動皮帶120c移動。玻璃基板放在皮帶120c上，和皮帶120c—起移動。
[0055]皮帶輪傳動能緩和載荷沖擊;皮帶輪傳動運(yùn)行平穩(wěn)、低噪音、低振動；皮帶輪傳動的結(jié)構(gòu)簡單，調(diào)整方便;皮帶輪傳動對于皮帶輪的制造和安裝精度不像嚙合傳動嚴(yán)格;皮帶輪傳動具有過載保護(hù)的功能;皮帶輪傳動的兩軸中心距調(diào)節(jié)范圍較大。
[0056]可以理解，傳動裝置120除了皮帶輪傳動外還可以選用鏈條帶動工裝板輸送、傳送網(wǎng)或地軌等裝置。
[0057]另外，皮帶120c的數(shù)量可以為多條。
[0058]具體的，例如在實(shí)際應(yīng)用中，可以設(shè)置有2條皮帶，以此可以多條皮帶同時進(jìn)行操作，進(jìn)而提高效率。當(dāng)然除此以外，還可以基于需要以及實(shí)際的使用環(huán)境，選取其他數(shù)量的皮帶，在此不再進(jìn)行贅敘，具體的皮帶的寬度也可以根據(jù)需要進(jìn)行選取，且皮帶的寬度還可以通過絲桿進(jìn)行任意的調(diào)整，以進(jìn)一步擴(kuò)大使用的范圍，使得可以滿足更大的產(chǎn)品加工需要。
[0059]可編程邏輯控制器104和整個貼片流水線100在運(yùn)行時需要用到電源裝置(圖中未示出)，具體包括:220V/380V電源供電設(shè)備。
[0060]在實(shí)際的情況中，由于在進(jìn)行流水線作業(yè)時，需要的持久穩(wěn)定的電源提供能源支持，且考慮到通用型和成本考慮，最好電源是易于得到的，因此可以選取:220V電源供電設(shè)備，也即可以選取市電設(shè)備來進(jìn)行供電，直接與市電進(jìn)行連接來完成供電；而考慮到功率的要求以及可能某些設(shè)備的電壓要求可能會比較高，因此也可以選取380V電源供電設(shè)備，也即工業(yè)上常用的三相電源來執(zhí)行供電，具體的除此以外，當(dāng)然也可以選取其他的電源來執(zhí)行供電的，只要能滿足實(shí)際的電力需求即可，并不限于以上的這幾種具體的實(shí)施例。
[0061]而此外，考慮到不同的貼片流水線上存在有多種裝置，可能各個裝置之間的電壓等的要求不一致，電源裝置可以選取能進(jìn)行獨(dú)立的多路供電的，以滿足不同的需要，且還可以結(jié)合其余的調(diào)節(jié)設(shè)備，具體的變壓器等來共同工作，最終滿足各種不同的需要，保障貼片流水線的正常工作。
[0062]本實(shí)用新型的貼片流水線在貼片下料平臺和導(dǎo)電膜貼附平臺之間加設(shè)抓取裝置，在導(dǎo)電膜貼附平臺和柔性線路板貼附平臺之間設(shè)有傳動裝置，抓取裝置和傳動裝置實(shí)現(xiàn)了在貼片流水線各道工序之間的自動化傳送。本實(shí)用新型的貼片流水線的上下料和貼片處理工序均采用自動化裝置傳送，無需人工上下料，節(jié)約了人力成本，提高了貼片效率和產(chǎn)品的良率，是一種高度自動化的貼片流水線。
[0063]在這里示出和描述的所有示例中，任何具體值應(yīng)被解釋為僅僅是示例性的，而不是作為限制，因此，示例性實(shí)施例的其他示例可以具有不同的值。
[0064]應(yīng)注意到:相似的標(biāo)號和字母在下面的附圖中表示類似項(xiàng)，因此，一旦某一項(xiàng)在一個附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對其進(jìn)行進(jìn)一步定義和解釋。
[0065]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種貼片流水線，包括貼片下料平臺、導(dǎo)電膜貼附平臺和柔性線路板貼附平臺，其特征在于， 所述貼片下料平臺與所述導(dǎo)電膜貼附平臺之間設(shè)有抓取裝置，所述抓取裝置可在所述貼片下料平臺與所述導(dǎo)電膜貼附平臺之間移動，所述導(dǎo)電膜貼附平臺和所述柔性線路板貼附平臺之間設(shè)有傳動裝置，所述傳動裝置的傳動方向從所述導(dǎo)電膜貼附平臺到所述柔性線路板貼附平臺； 所述貼片流水線還包括可編程邏輯控制器，所述可編程邏輯控制器控制所述抓取裝置和所述傳動裝置的運(yùn)行。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼片流水線，其特征在于，所述抓取裝置為機(jī)械手。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼片流水線，其特征在于，所述貼片下料平臺上設(shè)有傳感器，所述傳感器感測到工件后將信號反饋給所述可編程邏輯控制器，所述可編程邏輯控制器控制所述抓取裝置夾帶著工件從所述貼片下料平臺移動到所述導(dǎo)電膜貼附平臺。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的貼片流水線，其特征在于，所述傳感器為光電傳感器。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的貼片流水線，其特征在于，所述傳感器為壓力傳感器。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼片流水線，其特征在于，所述傳動裝置包括電機(jī)、皮帶和皮帶輪組成，所述電機(jī)連接所述皮帶輪，所述皮帶套在所述皮帶輪上。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的貼片流水線，其特征在于，所述可編程邏輯控制器控制所述電機(jī)的運(yùn)行。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼片流水線，其特征在于，所述導(dǎo)電膜貼附平臺上設(shè)有傳感器和貼片裝置，所述傳感器感測到工件后將信號反饋給所述可編程邏輯控制器，所述可編程邏輯控制器控制所述貼片裝置工作。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的貼片流水線，其特征在于，所述傳感器為光電傳感器。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的貼片流水線，其特征在于，所述傳感器為壓力傳感器。
【文檔編號】H01L21/67GK205692807SQ201620597444
【公開日】2016年11月16日
【申請日】2016年6月17日 公開號201620597444.2, CN 201620597444, CN 205692807 U, CN 205692807U, CN-U-205692807, CN201620597444, CN201620597444.2, CN205692807 U, CN205692807U
【發(fā)明人】俱曉杰, 張艷鵬
【申請人】深圳貝力佳電子科技有限公司