專利名稱：一種帶有擋板的靶位濺射室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種玻璃鍍膜倉(cāng)的濺射室，尤其涉及的是一種帶有擋板的靶位濺射室。
背景技術(shù)：
在玻璃鍍膜的過(guò)程中，玻璃鍍膜倉(cāng)靶位濺射室中靶材上的靶材粒子在磁電的作用下以一定的速度鍍到玻璃表面，在這個(gè)過(guò)程中必須達(dá)到靶材粒子的動(dòng)能最大化才能保證鍍膜的色差和膜層的牢固度。在靶位濺射室中，靶材的面積要小于處于靶位濺射室內(nèi)的玻璃的面積，所以在與靶材正對(duì)的區(qū)域以外的玻璃，靶材粒子濺射到其表面的距離就比較遠(yuǎn)，靶材粒子到達(dá)其表面的動(dòng)能就比較小，不能達(dá)到靶材粒子最大化的要求。由于靶材粒子遠(yuǎn)距離濺射致使其動(dòng)能不足，所以其鍍到與靶材正對(duì)的區(qū)域以外的玻璃表面上的鍍膜效果會(huì)出現(xiàn)色差不均、牢固度不夠的缺陷。因此，現(xiàn)有技術(shù)存在著因靶材粒子遠(yuǎn)距離濺射而致使玻璃鍍膜效果不佳的技術(shù)問(wèn)題。因此，現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種帶有擋板的靶位濺射室，以解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在著因靶材粒子遠(yuǎn)距離濺射而致使鍍膜效果不佳的技術(shù)問(wèn)題。本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下一種帶有擋板的靶位濺射室，其包括設(shè)置在靶位濺射室內(nèi)的靶材，還包括設(shè)置在所述靶位濺射室兩側(cè)側(cè)壁上的第一擋板和第二擋板，第一擋板和第二擋板的長(zhǎng)度分別延伸至其所在側(cè)的靶材邊緣的切線處，所述靶材位于第一擋板和第二擋板之間連線的正上方。所述的靶位濺射室，其中，所述第一擋板和第二擋板水平設(shè)置。所述的靶位濺射室，其中，所述第一擋板和第二擋板朝向所述靶材向上傾斜設(shè)置。所述的靶位濺射室，其中，所述第一擋板和第二擋板的橫截面為弧形。所述的靶位濺射室，其中，所述第一擋板和第二擋板上設(shè)置有回收靶材粒子的導(dǎo)槽。本實(shí)用新型通過(guò)在現(xiàn)有的靶位濺射室的側(cè)壁上設(shè)置擋板，以擋住靶材向其正對(duì)區(qū)域以外的玻璃濺射的靶材粒子，可以有效的防止因靶材粒子遠(yuǎn)距離濺射而致使鍍膜效果不佳的問(wèn)題。本實(shí)用新型還通過(guò)變化擋板的安裝方式和在擋板上設(shè)置導(dǎo)槽等方法促進(jìn)靶材粒子的回收，以節(jié)約靶材的成本。

圖I是本實(shí)用新型中帶有水平擋板的靶位濺射室結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型中帶有傾斜擋板的靶位濺射室的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實(shí)用新型中擋板的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)ー步詳細(xì)說(shuō)明。如 圖I所示本實(shí)用新型中帶有水平擋板的靶位濺射室結(jié)構(gòu)示意圖，玻璃7從靶位濺射室I的進(jìn)料ロ 9進(jìn)入靶位濺射室I，鍍膜完成后從出料ロ 8輸出。在出料ロ 8和進(jìn)料ロ9之間的靶位濺射室I的第一側(cè)壁2和第二側(cè)壁3的中間位置處分別設(shè)置有第一擋板5和第二擋板6。第一擋板5和第二擋板6的長(zhǎng)度延伸至靶材4的邊緣切線，即靶材4正好位于第一擋板5和第二擋板6之間的連線的正上方。靶材向其正對(duì)區(qū)域以外的玻璃濺射的靶材粒子剛好可以被第一擋板5和第二擋板6擋住，從而只允許其對(duì)正對(duì)區(qū)域的玻璃濺射鍍膜。如圖2所示本實(shí)用新型中帶有傾斜擋板的靶位濺射室的結(jié)構(gòu)示意圖，本實(shí)用新型中靶位濺射室的擋板還可以設(shè)置為傾斜狀，第一擋板5和第二擋板6朝向靶材4斜向上固定設(shè)置在第一側(cè)壁2和第二側(cè)壁3上，以利于將靶材粒子集中到擋板和側(cè)壁之間的銳角處集中回收。如圖3所示本實(shí)用新型中擋板的結(jié)構(gòu)示意圖，擋板上設(shè)置有導(dǎo)槽10，其作用在于利于將擋板擋住的靶材粒子沿導(dǎo)槽滾落至擋板和側(cè)壁之間的銳角處，進(jìn)一歩利于靶材粒子的集中回收。從上述實(shí)施例可以看出，本實(shí)用新型通過(guò)在現(xiàn)有的靶位濺射室的側(cè)壁上設(shè)置擋板，以擋住靶材向其正對(duì)區(qū)域以外的玻璃濺射的靶材粒子，可以有效的防止因靶材粒子遠(yuǎn)距離濺射而致使鍍膜效果不佳的問(wèn)題。另外，靶材一般都是以比較貴重的金屬材料制成的，其成本都比較昂貴，為了節(jié)約成本。本實(shí)用新型還通過(guò)變化擋板的安裝方式和在擋板上設(shè)置導(dǎo)槽等方法促進(jìn)靶材粒子的回收，以達(dá)到節(jié)約成本的效果。應(yīng)當(dāng)理解的是，本實(shí)用新型的應(yīng)用不限于上述的舉例，對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可以根據(jù)上述說(shuō)明加以改進(jìn)或變換，例如，擋板上的導(dǎo)槽可以設(shè)置為橫截面為弧形或者V形，還可以把擋板直接設(shè)置為截面為弧形或者V形的擋板等。所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種帶有擋板的靶位濺射室，其包括設(shè)置在靶位濺射室內(nèi)的靶材，其特征在于，還包括設(shè)置在所述靶位濺射室兩側(cè)側(cè)壁上的第一擋板和第二擋板，第一擋板和第二擋板的長(zhǎng)度分別延伸至其所在側(cè)的靶材邊緣的切線處，所述靶材位于第一擋板和第二擋板之間連線的正上萬(wàn)O
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的靶位濺射室，其特征在于，所述第一擋板和第二擋板水平設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的靶位濺射室，其特征在于，所述第一擋板和第二擋板朝向所述靶材向上傾斜設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的靶位濺射室，其特征在于，所述第一擋板和第二擋板的橫截面為弧形。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4任一所述的靶位濺射室，其特征在于，所述第一擋板和第二擋板上設(shè)置有回收靶材粒子的導(dǎo)槽。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種帶有擋板的靶位濺射室，其包括設(shè)置在靶位濺射室內(nèi)的靶材，還包括設(shè)置在所述靶位濺射室兩側(cè)側(cè)壁上的第一擋板和第二擋板，第一擋板和第二擋板的長(zhǎng)度分別延伸至其所在側(cè)的靶材邊緣的切線處，所述靶材位于第一擋板和第二擋板之間連線的正上方。采用本實(shí)用新型可有效的阻止靶材向其正對(duì)區(qū)域以外的玻璃濺射的靶材粒子，防止因靶材粒子遠(yuǎn)距離濺射而致使鍍膜效果不佳的問(wèn)題。同時(shí)還可利用擋板回收靶材粒子，以節(jié)約成本。
文檔編號(hào)C23C14/34GK202401123SQ20112052579
公開(kāi)日2012年8月29日 申請(qǐng)日期2011年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月15日
發(fā)明者張建 申請(qǐng)人:佛山市中南羅森玻璃有限公司